rame hart接觸角表面張力測(cè)量?jī)x 表面張力動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)x

在由rame-hart儀器公司提供的一系 列儀器中,Model 400占有獨(dú)特的地位: 它是一款專門為半導(dǎo)體制造商這 一特定行業(yè)制造和優(yōu)化的儀器. 今天的芯片制造商從事技術(shù)性和 挑戰(zhàn)性的制造任務(wù)。處理方法需要越 來(lái)越復(fù)雜和復(fù)雜的方法和監(jiān)測(cè)系統(tǒng)來(lái) 檢測(cè)污染物和減少排放(分子污染， 或MC)，這將降低產(chǎn)量和利潤(rùn)。 在幫助芯片制造商通過(guò)接觸角檢測(cè)過(guò) 量的MC方面，ramé-hart一直處于 地位。在正常的潔凈室生產(chǎn)條件 下，純?nèi)ルx子水滴沉積在氧化的硅片 上。如果接觸角高于一個(gè)特定的設(shè)定 值，則會(huì)發(fā)生過(guò)量的有機(jī)冷凝。

在經(jīng)過(guò)特定和高度控制的清洗過(guò)程 后，晶圓片再次被清洗，通過(guò)接觸 角檢查，以確保它們沒(méi)有污染物。 Model 400 i是在菲律賓的個(gè) 10k潔凈室使用的 Model 400 為芯片制造商優(yōu)化，它 也適用于其他應(yīng)用需要一個(gè)大的旋轉(zhuǎn) 圓形標(biāo)本階段。 所包含的DROPimage Pro軟件除了 測(cè)量接觸角、表面能量(使用6種不同 的方法)、表面和界面張力外，還測(cè) 量其他參數(shù) Model 400 模型400可以很容易地 定制。自動(dòng)注射系統(tǒng)是一個(gè)通用的選 擇，并建議在QC環(huán)境中，許多測(cè)試 是每天進(jìn)行，重復(fù)性是很重要的。 旋轉(zhuǎn)晶圓支架也可以升級(jí)到10英 寸、12英寸甚至13.625英寸的支架， 或者降級(jí)到6英寸或4英寸的支架 真空卡盤有6英寸和8英寸兩種尺寸

Model 400 配置強(qiáng)大的DROPimage Pro軟件包，能夠接觸角，表面能量，表面張力，和界面張力。

技術(shù)參數(shù)：
接觸角范圍：0– 180°
接觸角分辨率：0.1°
接觸角精度： /- 0.10°
攝像機(jī)：German-Made U1 Series
背光設(shè)置：可變光纖照明
旋轉(zhuǎn)晶片：8INCH
儀器尺寸：635 x 267 x 603 mm

儀器重量：8.25 kg（不包括電源）
電源：110或220 VAC
耗材：光纖燈100-00-FOB